一种等离子清洗机推送料装置
基本信息
| 申请号 | CN202021356824.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212760130U | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN212760130U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | B08B7/00(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 郭峰;刘向东;彭小巧;王宇;国际瑞 | 申请（专利权）人 | 苏州艾斯林自动化科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董建林 |
| 地址 | 215316江苏省苏州市昆山市玉山镇北门路3232号3号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种等离子清洗机推送料装置，属于半导体加工技术领域；其包括设置在机架上的推料机、构以及驱动机构，所述推料机构包括导向座、与导向座滑动连接的传送板带、设置在传送板带前端的推料头以及导向轮，所述传送板带另一端与驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构；本实用新型提供了一种等离子清洗机推送料装置，能够提高设备的空间利用效率，提升推送料的行程，提高推送效率。 |
