一种等离子清洗机双向推头
基本信息
| 申请号 | CN202021330688.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213079387U | 公开（公告）日 | 2021-04-30 |
| 申请公布号 | CN213079387U | 申请公布日 | 2021-04-30 |
| 分类号 | B08B7/00;B08B13/00;H01L21/67 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 郭峰;刘向东;彭小巧;王宇;国际瑞 | 申请（专利权）人 | 苏州艾斯林自动化科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董建林 |
| 地址 | 215316 江苏省苏州市昆山市玉山镇北门路3232号3号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种等离子清洗机双向推头，属于半导体加工技术领域；其包括与机台滑动连接的安装座、与安装座滑动连接的连接块、设置在连接块上的双头推板、设置在连接块与安装座之间的弹性装置以及设置在连接块与安装座之间的位移检测装置，所述连接块滑动方向与推料方向平行，所述双头推板两端设有内凹的推料豁口；本实用新型提供了一种等离子清洗机双向推头能够方便操作人员时时获知推料状态，料板卡死后能够及时获知，避免损坏料板和设备，保证更方便、安全。 |
