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石英坩埚制备装置及降低石英坩埚中脱羟的方法

基本信息

申请号 CN202111086592.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113772930A 公开（公告）日 2021-12-10
申请公布号 CN113772930A 申请公布日 2021-12-10
分类号 C03B20/00（2006.01）I;C03C23/00（2006.01）I 分类 玻璃；矿棉或渣棉;
发明人 何玉鹏;王建军;邓红;李卫;李常国 申请（专利权）人 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
代理机构 宁夏三源鑫知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 孙彦虎
地址 750000宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路23号
法律状态 -

摘要

摘要 一种石英坩埚制备装置，包括密封壳体、水冷模具、石墨坩埚、第一真空泵、第二真空泵、排气组件，石墨坩埚的底部嵌入水冷模具，第一真空泵的入口与水冷模具的内腔连通，在密封壳体的侧壁上方设有第一连接口，在密封壳体的侧壁下方设有第二连接口，排气组件包括三通接头、第一阀门、第二阀门、第三阀门，三通接头的第一接口与第一连接口连接，三通接头的第二接口与第一阀门的入口连接，第一阀门的出口与第二真空泵的入口连接，第二阀门的入口与三通接头的第三接口连接，第三阀门的入口与第二连接口连接，密封壳体和水冷模具设置独立真空，能满足脱羟工艺过程要求，羟基含量可以降低到20～30ppm，还提供了一种降低石英坩埚中脱羟的方法。