首页/ 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司/ 专利详情

单晶炉挡板阀及单晶炉

基本信息

申请号 CN202023280286.3 申请日 -
公开（公告）号 CN214400797U 公开（公告）日 2021-10-15
申请公布号 CN214400797U 申请公布日 2021-10-15
分类号 C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 马国忠;梁万亮;丁亚国;顾燕滨;河野贵之 申请（专利权）人 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
代理机构 宁夏三源鑫知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 孙彦虎
地址 750021宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路23号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种单晶炉挡板阀及单晶炉，属于单晶硅生产设备技术领域。该单晶炉挡板阀包括闸板，闸板的内开设有若干相互连通的氩气分布槽，氩气分布槽的入口端连接氩气进气管；闸板的下表面开设有若干氩气通孔，氩气通孔连通氩气分布槽。氩气经过氩气分布槽，并经由氩气通孔进入单晶炉内，在单晶炉挡板阀的下方形成惰性气体环境。一方面增加了通入氩气的分布均匀性，满足拉制较大尺寸的单晶硅晶棒的氩气通入需求，有效防止了单晶炉内零部件尤其是闸板中部的氧化，避免单晶炉内环境被污染，降低单晶拉制成功率。另一方面，氩气对闸板进行进一步辅助冷却，加强了单晶炉挡板阀处的冷却效果。