用于石英坩埚搬运的装置
基本信息
申请号 | CN202023063693.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214600880U | 公开(公告)日 | 2021-11-05 |
申请公布号 | CN214600880U | 申请公布日 | 2021-11-05 |
分类号 | B08B9/24(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
发明人 | 邓红;何玉鹏;王建军;李常国;李卫 | 申请(专利权)人 | 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 |
代理机构 | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 孙彦虎 |
地址 | 750021宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路23号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型的用于石英坩埚搬运的装置包括下挡板、至少三个连接支柱、上挡板,所述下挡板的上端与连接支柱的下端固定连接,连接支柱的上端与上挡板套设连接,连接支柱围成多边形区域,以防止石英坩埚从侧部倾倒,连接支柱的上端还设有卡持部,以固定上挡板,所述下挡板的中间设有圆形孔,圆形孔的直径小于坩埚的直径,以放置石英坩埚。采用本方案的用于石英坩埚搬运的装置在对坩埚进行翻转时,只需要抓住连接支柱即可,操作十分方便,且坩埚的放置和拆卸都非常容易,既提高了员工的工作效率,又减少了工作的劳动强度。 |
