组合导气石墨电极及无内表面气泡群石英坩埚制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111087356.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113747625B | 公开（公告）日 | 2022-05-03 |
| 申请公布号 | CN113747625B | 申请公布日 | 2022-05-03 |
| 分类号 | H05B7/085（2006.01）I;C03B20/00（2006.01）I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 王建军;何玉鹏;邓红;李卫;李常国 | 申请（专利权）人 | 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 孙彦虎 |
| 地址 | 750000宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路23号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种组合导气石墨电极，包括上段石墨电极、下段石墨电极，所述上段石墨电极的下端设有柱形连接凸起，所述下段石墨电极的上端设有柱形连接凹槽，在柱形连接凸起的外侧设有外螺纹，在柱形连接凹槽的内侧设有内螺纹，所述柱形连接凸起与柱形连接凹槽螺纹连接，所述上段石墨电极的上端设有轴向气孔，所述轴向气孔不贯通上段石墨电极，所述下段石墨电极的密度大于1.72g/cm3，所述上段石墨电极的贯通气孔率为20～35%，采用两段组合式石墨电极，上段石墨电极采用高纯度高透气性石墨电极，下段石墨电极采用高纯度高致密度的石墨电极，降低了因下段石墨电极更换频次高导致的成本高的问题，还提供了一种无内表面气泡群石英坩埚制备方法。 |
