首页/ 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司/ 专利详情

组合导气石墨电极及无内表面气泡群石英坩埚制备方法

基本信息

申请号 CN202111087356.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113747625A 公开（公告）日 2021-12-03
申请公布号 CN113747625A 申请公布日 2021-12-03
分类号 H05B7/085（2006.01）I;C03B20/00（2006.01）I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 王建军;何玉鹏;邓红;李卫;李常国 申请（专利权）人 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
代理机构 宁夏三源鑫知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 孙彦虎
地址 750000宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路23号
法律状态 -

摘要

摘要 一种组合导气石墨电极，包括上段石墨电极、下段石墨电极，所述上段石墨电极的下端设有柱形连接凸起，所述下段石墨电极的上端设有柱形连接凹槽，在柱形连接凸起的外侧设有外螺纹，在柱形连接凹槽的内侧设有内螺纹，所述柱形连接凸起与柱形连接凹槽螺纹连接，所述上段石墨电极的上端设有轴向气孔，所述轴向气孔不贯通上段石墨电极，所述下段石墨电极的密度大于1.72g/cm，所述上段石墨电极的贯通气孔率为20～35%，采用两段组合式石墨电极，上段石墨电极采用高纯度高透气性石墨电极，下段石墨电极采用高纯度高致密度的石墨电极，降低了因下段石墨电极更换频次高导致的成本高的问题，还提供了一种无内表面气泡群石英坩埚制备方法。