一种光刻板自动翻转装置
基本信息
| 申请号 | CN202120087540.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214427741U | 公开（公告）日 | 2021-10-19 |
| 申请公布号 | CN214427741U | 申请公布日 | 2021-10-19 |
| 分类号 | G03F1/00（2012.01）I;G03F1/68（2012.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 杨博;饶学军 | 申请（专利权）人 | 青岛市精立制版有限公司 |
| 代理机构 | 北京化育知识产权代理有限公司 | 代理人 | 涂琪顺 |
| 地址 | 266108山东省青岛市城阳区流亭街道空港产业聚集区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光刻板自动翻转装置，包括支撑架，所述支撑架的上表面固定连接有两个固定板，固定板的一侧活动连接有转轴，转轴的一端固定连接有下固定壳，下固定壳的一侧活动连接有上固定壳，所述支撑架的上表面设有两个滑槽，滑槽的一侧活动连接有第一滑动板和第二滑动板，第一滑动板与第二滑动板的一侧均固定连接有支撑板，支撑板与下固定壳相接触，所述支撑架的两侧固定连接有多个滑杆，滑杆的一侧分别活动连接有第一压板和第二压板。本实用新型能够对加工中的光刻板起到支撑的作用，从而解决了不能够对加工中的光刻板作稳定的问题，提高了光刻板加工的产品精度。 |
