用于Veeco K465i的清洁平台及其清洁方法
基本信息
| 申请号 | CN201811453909.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109261660A | 公开（公告）日 | 2019-01-25 |
| 申请公布号 | CN109261660A | 申请公布日 | 2019-01-25 |
| 分类号 | B08B9/032;B08B3/12;B08B13/00;F26B23/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 赵明明 | 申请（专利权）人 | 江苏中谷光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海信好专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 潘朱慧;朱成之 |
| 地址 | 226017 江苏省南通市南通苏通科技产业园江广路66号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种用于Veeco K465i的清洁平台，用于清洁Veeco K465i设备的尾气管路部件，包含至少两个相同的碱洗槽，用于浸泡尾气管路部件；至少两个相同的纯水水洗槽，用于冲洗尾气管路部件；纯水超声波清洗装置，用于超声波冲洗尾气管路部件；本发明还提供一种利用所述平台对Veeco K465i的尾气管路进行清洁的方法，包含将对管路部件的拆解、除尘、置于KOH溶液浸泡、使用纯水冲洗、使用纯水超声波清洁、使用氮气吹扫、置于无氧化烤箱烘烤、部件组装等步骤。本发明的清洁平台结构简单，本发明的方法具有良好的清洁效果，操作方便，节约了企业对Veeco K465i设备的维护成本。 |
