氧化硼脱水装置
基本信息
| 申请号 | CN202020926823.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212870454U | 公开（公告）日 | 2021-04-02 |
| 申请公布号 | CN212870454U | 申请公布日 | 2021-04-02 |
| 分类号 | F26B23/04(2006.01)I;F26B25/06(2006.01)I;F26B5/04(2006.01)I | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 邢爱君;马英俊;林泉;许兴;李万朋;张赓;张洁;刘向前;焦雪梅 | 申请（专利权）人 | 北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 佟林松 |
| 地址 | 100088北京市海淀区北三环中路43号二区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体制备技术领域，具体涉及一种氧化硼脱水装置，包括：坩埚，用于盛放待脱水的氧化硼；锅托，坩埚安装于锅托内；加热器，包围所述锅托的侧面和底面设置，第一保温件，环绕设置于加热器的侧面。该装置安全性高、运行稳定、使用方便、成本低、效率高、提高脱水效果明显。 |
