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一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置

基本信息

申请号 CN201822048631.7 申请日 -
公开（公告）号 CN209690198U 公开（公告）日 2019-11-26
申请公布号 CN209690198U 申请公布日 2019-11-26
分类号 G01N21/95（2006.01）; G01N21/01（2006.01） 分类 测量；测试;
发明人 张路; 马会超; 冯德伸 申请（专利权）人 北京国晶辉红外光学科技有限公司
代理机构 北京辰权知识产权代理有限公司 代理人 北京国晶辉红外光学科技有限公司
地址 100088 北京市海淀区北三环中路43号二区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种步进式移动平台及锗单晶位错密度测试装置。该步进式移动平台包括底部支撑板、中部滑板和上部支撑台面，所述支撑台面上设有支撑圆环，所述中部滑板分别与所述底部支撑板和所述上部支撑台面滑动步进连接，并且所述底部支撑板相对于中部滑板的滑动方向与所述上部支撑台面相对于中部滑板的滑动方向互为垂直，所述支撑圆环与所述支撑台面转动步进连接。该装置包括上述的步进式移动平台。采用该装置测试锗单晶的位错密度，操作简单，方便实用，定位准确，读数精准的优势，提高工作效率，解决了现有技术中测试位错密度时存在的操作繁琐、读数有偏差、工作效率较低等技术问题。