一种直拉单晶炉底部用保温装置及直拉单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN201922387139.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211689294U | 公开（公告）日 | 2020-10-16 |
| 申请公布号 | CN211689294U | 申请公布日 | 2020-10-16 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 王宇;冯德伸;于洪国;雷同光;李燕;马英俊;林泉 | 申请（专利权）人 | 北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
| 地址 | 100088北京市海淀区北三环中路43号二区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种直拉单晶炉底部用保温装置及直拉单晶炉。一种直拉单晶炉底部用保温装置包括：坩埚杆，以及套设于所述坩埚杆上的一个或多个保温板，所述多个保温板间隔设置。本实用新型提供的保温装置可随坩埚的升降而移动，保持了坩埚底部与保温装置的距离稳定，有效的增强了单晶炉中坩埚底部的保温效果，减少温度梯度的变化，并且实用方便，效果显著，适用于低位错锗等一些对温度梯度要求较高晶体的直拉法生长工艺。 |
