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一种晶圆悬空测试载台

基本信息

申请号 CN202023293662.2 申请日 -
公开（公告）号 CN214622908U 公开（公告）日 2021-11-05
申请公布号 CN214622908U 申请公布日 2021-11-05
分类号 G01R31/26（2014.01）I;G01R1/04（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 张俊堂;嵇杰;方正;李海峰;魏菊 申请（专利权）人 豪威半导体（太仓）有限公司
代理机构 北京连和连知识产权代理有限公司 代理人 夏晓杰
地址 215411 江苏省苏州市太仓市科教新城健雄路20号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆悬空测试载台，包括底座和上盖，上盖与底座铰接，并通过卡扣固定，底座和上盖对应设置第一中空区域和第二中空区域，第一中空区域内设置用于安装晶圆的支撑臂，且支撑臂上设置定位凸点以限定晶圆安装位置。本实用新型摒弃现有结构，采用底座和上盖扣合固定，利用周向设置的支撑臂，并配合定位凸点限制安装区域，确定晶圆安装位置；另外，在两端增加防滑胶垫防止晶圆在测试时发生位移。上盖和底座之间通过磁铁吸引固定。上述结构实现了晶圆悬空装载，及快速拆装晶圆，提高了测试效率。