一种掩膜版固定夹具

基本信息

申请号 CN202121797956.0 申请日 -
公开(公告)号 CN215391469U 公开(公告)日 2022-01-04
申请公布号 CN215391469U 申请公布日 2022-01-04
分类号 B08B13/00(2006.01)I;B25B11/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 胡家铭;罗雪春 申请(专利权)人 拓维高科(成都)新材料有限公司
代理机构 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 代理人 何祖斌
地址 621000四川省成都市成都高新区康强一路1188号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于掩膜版清洗设备技术领域,具体涉及一种掩膜版固定夹具。其技术方案为:一种掩膜版固定夹具,包括外框架,外框架内设置有若干Sensor感应部,外框架内还固定有若干结构支撑架,结构支撑架内安装有用于放置掩膜版的承载底板,结构支撑架上设置有若干移动架,移动架上连接有若干固定挡块,移动架与结构支撑架之间连接有用于锁紧移动架的锁紧件。本实用新型提供了一种可用于对不同尺寸的掩膜版清洗的掩膜版固定夹具。