柔性卷绕镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN98231060.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN2339589Y | 公开（公告）日 | 1999-09-22 |
| 申请公布号 | CN2339589Y | 申请公布日 | 1999-09-22 |
| 分类号 | C23C14/56 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 彭传才;黄广连;曹志刚;胡云慧;余圣发;魏敏;李京增 | 申请（专利权）人 | 长沙国防科技大学八达薄膜电子技术研究所 |
| 代理机构 | 湖南省专利服务中心 | 代理人 | 长沙国防科技大学八达薄膜电子技术研究所;上海凯业立德镀膜科技有限公司 |
| 地址 | 410073湖南省长沙市上大垅 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种柔性卷绕镀膜机。它是由卷绕室,镀膜室以及辅助装置组成;在镀膜室中围绕冷却辊设置有多个磁控溅射靶。两个靶之间设置有隔离槽,隔离槽与抽气装置相通,隔离槽与冷却辊之间的距离不大于10mm;每个靶配置有独立的布气管。本实用新型实现了在柔性材料上进行低辐射膜的连续镀。 |
