LED蓝宝石衬底抛光装置

基本信息

申请号 CN202022944870.8 申请日 -
公开(公告)号 CN214135472U 公开(公告)日 2021-09-07
申请公布号 CN214135472U 申请公布日 2021-09-07
分类号 B24B29/02(2006.01)I;B24B27/00(2006.01)I;B24B47/22(2006.01)I;B24B55/06(2006.01)I;B24B55/12(2006.01)I;B24B55/02(2006.01)I;B24B53/007(2006.01)I;B24B41/00(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I 分类 磨削;抛光;
发明人 吴康;李国红;马跃东;邓源 申请(专利权)人 云南蓝晶科技有限公司
代理机构 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 陈康
地址 653100云南省玉溪市红塔区北城镇
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶片加工技术领域,具体涉及LED蓝宝石衬底抛光装置,机体侧面设置有进料口;进料口内设置有托盘;托盘表面设置有抛光夹;托盘设置在滑轨上;托盘底部设置有伸缩支撑柱;托盘上方设置有抛光盘;抛光盘设置通过抛光盘转轴连接抛光盘安装盘;抛光盘安装盘内设置有电机;电机连接抛光盘转轴另一端;抛光盘转轴上部设置有轴套;轴套连接气动滑块;电机底部设置有电机转轴,解决晶片抛光效率较低的问题。