LED用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置

基本信息

申请号 CN202022944939.7 申请日 -
公开(公告)号 CN214441420U 公开(公告)日 2021-10-22
申请公布号 CN214441420U 申请公布日 2021-10-22
分类号 B08B3/12;B08B5/02;F26B21/00;F26B25/06;B01D46/10 分类 清洁;
发明人 易晶晶;张艳红;林德肖 申请(专利权)人 云南蓝晶科技有限公司
代理机构 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 陈康
地址 653100 云南省玉溪市红塔区北城镇
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶片加工技术领域,具体涉及LED用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置,机体右端设置有清洗入口;机体内由右至左依次设置有除尘仓、清洗仓和烘干仓;仓室间设置有仓板隔开;仓板上部设置有开口;除尘仓内上部两侧仓壁上对向设置有除尘出风口;清洗仓内设置有超声波清洗池;烘干仓顶部设置有烘干出风口;烘干出风口连接热风进风管;热风进风管上设置有风机A;风机A另一端连接进风口;机体顶部设置有传送带;传送带上设置有挂钩座;挂钩座底部设置有拉杆;拉杆连接晶片固定栏;拉杆为伸缩结构设置;机体右端设置有清洗出口,解决的晶片衬底清洗效率低的问题。