LED用蓝宝石晶片衬底双面精磨装置

基本信息

申请号 CN202022948187.1 申请日 -
公开(公告)号 CN213304085U 公开(公告)日 2021-05-28
申请公布号 CN213304085U 申请公布日 2021-05-28
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 -
发明人 胡文宏;苏开贤;易晶晶 申请(专利权)人 云南蓝晶科技有限公司
代理机构 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 陈康
地址 653100云南省玉溪市红塔区北城镇
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶片加工技术领域,具体涉及LED用蓝宝石晶片衬底双面精磨装置,箱体通过转轴连接箱盖;箱体内设置有多个工磨槽;工磨槽底部设置有磨盘A;磨盘A底部设置有磨盘转齿;磨盘转齿与电机转齿啮合;电机转齿连接电机A;加工磨槽内设置有衬板支架;衬板支架上设置有晶片衬板;晶片衬板上下两面分别设置有加工垫片;加工垫片上设置有限位板;位于加工磨槽上方同一位置的箱盖上设置有磨盘B;磨盘B连接电机A,解决晶片精磨效率较低的问题。