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一种4寸LED蓝宝石衬底的双面减薄加工装置

基本信息

申请号 CN202022947188.4 申请日 -
公开（公告）号 CN214685935U 公开（公告）日 2021-11-12
申请公布号 CN214685935U 申请公布日 2021-11-12
分类号 B24B37/08（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I;B24B49/04（2006.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 苏开贤;李国红;李金 申请（专利权）人 云南蓝晶科技有限公司
代理机构 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 陈康
地址 653100云南省玉溪市红塔区北城镇
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶片加工技术领域，具体涉及4寸LED蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，机体上部设置有下研磨盘；下研磨盘连接转轴A；转轴A连接电机A；下研磨盘上方设置有上研磨盘；上研磨盘连接转轴B；转轴B为伸缩结构设置；转轴B连接电机B；上研磨盘上设置有磨削液槽；磨削液槽底部连接进液管；进液管连接至上研磨盘内；磨削液槽上方设置有供液管；供液管为伸缩结构设置；供液管分别连接水泵和蠕动泵；水泵连接储液罐A；储液罐A顶部设置有进液口A；蠕动泵连接储液罐B；储液罐B存储有碳化硼、悬浮剂；储液罐B顶部设置有进液口，解决蓝宝石衬底磨削加工效率低、成本高的问题。