一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构
基本信息
| 申请号 | CN202210131948.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114165602B | 公开（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申请公布号 | CN114165602B | 申请公布日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | F16K1/00（2006.01）I;F16K1/32（2006.01）I;F16K1/36（2006.01）I;F16K27/02（2006.01）I;F16K31/12（2006.01）I;C30B15/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 尹嘉琦;李欢;辛珊;江佳飞 | 申请（专利权）人 | 新沂中大节能科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡苏元专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 221400江苏省徐州市新沂市高流镇石涧村205国道北侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及单晶硅加工技术领域，具体为一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构。一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，包括前阀体、后阀体、阀板、第一驱动气缸、第二驱动气缸和外壳，所述前阀体的侧面固定安装有后阀体，前阀体的内部安装有阀板，前阀体的上方固定安装有真空接口，前阀体和后阀体之间安装有锁紧套，前阀体的前端固定安装有检测视窗，所述阀板的侧面固定设置有阀臂。本发明的有益效果是：该单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，在现有的基础上进行改进，利用前阀体和后阀体使得该装置的安装空间能得到充分利用，设备结构更加紧凑，同等条件厂房中可以布局更多数量的设备，提高拉晶产能。 |
