一种基于纳米结构的红外光源芯片
基本信息
| 申请号 | CN201510006615.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104591076A | 公开（公告）日 | 2015-05-06 |
| 申请公布号 | CN104591076A | 申请公布日 | 2015-05-06 |
| 分类号 | B81B7/02(2006.01)I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 伞海生;陈然斌;张强 | 申请（专利权）人 | 厦门纵能电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 厦门南强之路专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 厦门大学;厦门纵能电子科技有限公司 |
| 地址 | 361005 福建省厦门市思明南路422号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种基于纳米结构的红外光源芯片，涉及红外技术领域。设有衬底、支撑层、电加热层、纳米结构辐射层、金属电极；所述纳米结构辐射层采用紧密排列的多孔纳米结构，纳米结构辐射层覆盖在电加热层表面，纳米结构辐射层用于辐射红外射线，电加热层设于支撑层上方，电加热层用于对纳米结构辐射层传递热量；所述支撑层、电加热层、纳米结构辐射层均悬浮在衬底上方并形成悬浮桥面结构；衬底呈框架结构并为支撑层、电加热层、纳米结构辐射层提供支撑。采用紧密排列的纳米深孔薄膜结构作为辐射层辐射红外射线，采用电化学阳极氧化的方法制备纳米结构辐射层，通过控制反应时间可以控制孔径大小以及孔的深度。 |
