一种太阳能电池的双面钝化方法
基本信息
| 申请号 | CN201410775995.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104465879B | 公开（公告）日 | 2017-11-10 |
| 申请公布号 | CN104465879B | 申请公布日 | 2017-11-10 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 傅建奇;幺文捷;杜飞龙;李补忠;张勤杰 | 申请（专利权）人 | 北京飞行博达电子有限公司 |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 北京飞行博达电子有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 地址 | 101204 北京市平谷区马坊工业西区316号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种太阳能电池的双面钝化方法，改进了现有的双面钝化方法，在低压化学气相沉积反应腔室中进行，反应腔室中具有夹持器件，包括：将多个半导体器件衬底以一定的间隔排列于反应腔室的夹持器件上；半导体器件衬底的两面均暴露出来；采用低压气相沉积工艺向半导体器件衬底的两面同时沉积钝化膜；其中，所采用的反应气体同时进入半导体器件衬底的两面且同时在半导体器件衬底的两面以热激活方式沉积钝化膜从而在反应腔中实现两面同时沉积钝化膜的过程，克服了现有的双面钝化工艺只能在一面沉积的弊端；其可以应用于规模化生产，可以减小硅片与晶舟之间的摩擦，增加电池工艺稳定性，并且简化了工艺步骤，提升了生产效率和降低了成本。 |
