太阳能电池背面钝化方法
基本信息
| 申请号 | CN201510104406.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104701390B | 公开（公告）日 | 2017-01-25 |
| 申请公布号 | CN104701390B | 申请公布日 | 2017-01-25 |
| 分类号 | H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张勤杰;傅建奇;李建国;张燕 | 申请（专利权）人 | 北京飞行博达电子有限公司 |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陶金龙;张磊 |
| 地址 | 101204 北京市平谷区马坊工业西区316号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种太阳能电池背面钝化方法，对太阳能电池的背面采用Al2O3/SiO2/高硅含量SiNx/低硅含量SiNx的四层叠层钝化膜进行钝化，通过增加SiO2层的沉积，可以有效消除高硅含量SiNx固定正电荷的影响，降低Al2O3的最小厚度，高硅含量的SiNx可以继续保证对硅表面的氢钝化效果，而利用低硅含量的SiNx可以防止铝烧结过程中对内层膜的侵蚀，可实现钝化膜总厚度的明显降低，进一步提高产能，节约工艺总成本，并符合规模化生产的要求。 |
