一种石墨舟片
基本信息
| 申请号 | CN201621039041.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206022408U | 公开（公告）日 | 2017-03-15 |
| 申请公布号 | CN206022408U | 申请公布日 | 2017-03-15 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 傅建奇;姚雁林;杜飞龙 | 申请（专利权）人 | 北京飞行博达电子有限公司 |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 北京飞行博达电子有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 地址 | 101204 北京市平谷区马坊工业西区316号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种石墨舟片，通过在石墨舟片表面设置硅片放置区域，在硅片放置区域内设置镂空区域，在硅片放置区域的周边设置卡点，在硅片放置区域和石墨卡点之外的石墨舟片表面设置不溶于强酸性药液的介质薄膜，从而石墨舟片不经饱和工艺就能提高硅片镀膜的均匀性，还简化了步骤，降低了成本。 |
