靶材制备方法、装置和靶材
基本信息
| 申请号 | CN201910584845.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112176294A | 公开（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申请公布号 | CN112176294A | 申请公布日 | 2021-01-05 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王云能;徐国军;张蛟;阮华清 | 申请（专利权）人 | 东君新能源有限公司 |
| 代理机构 | 北京智晨知识产权代理有限公司 | 代理人 | 领凡新能源科技（北京）有限公司 |
| 地址 | 101407北京市怀柔区雁栖经济开发区乐园大街38号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种靶材制备方法、装置和靶材，涉及靶材制备领域，能够制备出中间薄两端厚的骨性靶材，从而解决靶材有效利用率低的问题。所述靶材制备方法，包括：采用热喷涂方式，在旋转的背衬管上喷涂靶材层，所述喷枪在所述背衬管的端部区域的喷涂量大于所述喷枪在所述背衬管的中间区域的喷涂量；对形成的靶材层的进行机械加工，使靶材各部分的靶材层厚度大体上与其在溅射时的消耗速度成正比。 |
