一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法及真空气囊
基本信息
| 申请号 | CN202010849040.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112030131A | 公开（公告）日 | 2020-12-04 |
| 申请公布号 | CN112030131A | 申请公布日 | 2020-12-04 |
| 分类号 | C23C14/56;C23C16/54 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 叶飞;刘晓萌 | 申请（专利权）人 | 无锡爱尔华光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡盛阳专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 无锡爱尔华光电科技有限公司 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市滨湖区胡埭镇金桂路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法，其可以有效的缩短真空腔体抽气时间，提高工作效率，降低加工成本。本发明技术方案中，通过设置一种真空气囊，将真空气囊预先进行真空抽气，然后放入进出片腔体，达到缩短抽真空时间，提高工作效率的目的。同时本发明还公开了一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速用真空气囊。 |
