一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速用真空气囊
基本信息
| 申请号 | CN202021762791.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212560428U | 公开（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申请公布号 | CN212560428U | 申请公布日 | 2021-02-19 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 叶飞;刘晓萌 | 申请（专利权）人 | 无锡爱尔华光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡盛阳专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 顾吉云;黄莹 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市滨湖区胡埭镇金桂路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速用真空气囊，其可以有效的缩短真空腔体抽气时间，提高工作效率，降低加工成本。其包括：内部为真空腔的气囊本体，所述气囊本体外形为矩形，所述气囊本体的侧壁上设置用于连接真空泵的预抽口。 |
