一种基片卡夹装置
基本信息
| 申请号 | CN202110778405.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113697711A | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN113697711A | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | B66F7/02（2006.01）I;B66F7/28（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 卷扬；提升；牵引; |
| 发明人 | 吴龙 | 申请（专利权）人 | 天津中科晶禾电子科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 天津市尚仪知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 邓琳 |
| 地址 | 300450天津市滨海新区塘沽海洋科技园信安创业广场5号楼2001 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基片卡夹装置，包括卸载传输带和用于安装基片卡夹装置的矩形支架，卸载传输带位于矩形支架的底部，矩形支架的正侧和背侧均设置有工字架，矩形支架的两侧分别设置有第一卸载机构和第二卸载机构。本发明通过设置第一卸载机构和第二卸载机构，第一同步带外齿和第二同步带外齿相对运动使其张角变小，达到对基片装载到卡夹内的目的，第一同步带外齿与第二同步带外齿向下移动，当分别与第一同步带底轮和第二同步带底轮啮合时，张角逐渐变大，使基片下降至卸载传输带，完成卸载，利用第一同步带外齿和第二同步带外齿的张角变化，可以很好的解决变形基片装卸载问题，且卸载端无需机械手，保证了产品质量。 |
