一种基片定位装置
基本信息
| 申请号 | CN202110778398.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113594075A | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN113594075A | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴龙 | 申请（专利权）人 | 天津中科晶禾电子科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 天津市尚仪知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 邓琳 |
| 地址 | 300450天津市滨海新区塘沽海洋科技园信安创业广场5号楼2001 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基片定位装置，包括活塞缸缸体，活塞缸缸体的一端固定连接有驱动连接板，活塞缸缸体的内部设置有活塞杆和活塞弹簧，活塞杆的一端设置有定位销和锥面摆动推块，活塞杆的中部固定连接有阻尼限位块，活塞缸缸体底端一侧的正面和背面均设置有阻尼机构，两个阻尼机构均由一个固定连接板、一个L形阻尼杆、两个阻尼弹簧和一个限位螺栓组成。该种基片定位装置，当基片移动至锥面摆动推块正前方时，外部气缸通过驱动连接板将整个定位装置前推，使得基片与锥面摆动推块自由接触，属于柔性推基片，并且锥面摆动推块套牢归正，完成基片推正，使基片位置不易偏斜，进而防止基片挤碎。 |
