一种制备石英晶体微天平传感器的方法
基本信息
| 申请号 | CN202111668898.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114441362A | 公开（公告）日 | 2022-05-06 |
| 申请公布号 | CN114441362A | 申请公布日 | 2022-05-06 |
| 分类号 | G01N5/00（2006.01）I;G01D5/243（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 司士辉;余坦雷 | 申请（专利权）人 | 杭州诺蒙微晶生物科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州创智卓英知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 唐超文 |
| 地址 | 311100浙江省杭州市余杭区五常街道文一西路1199号1幢1单元1902-1907室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种制备石英晶体微天平传感器的方法，所述石英晶体微天平传感器是在石英晶体微天平晶振的电极表面涂覆复合的金属镀膜层和镀钛膜层，所述金属镀膜层为ZnO纳米膜，厚度为20‑40nm；所述镀钛膜层为TiO2纳米膜，厚度为20‑40nm。本发明提供的制备方法制备得到的石英晶体微天平传感器电极涂层厚度小且厚度均匀，从而使得电极表面任一位置的质量变化灵敏精确，石英晶体微天平传感器接收的电信号频率变化更加精确，增加了石英晶体微天平传感器的测量精度，具有较高的适应性。 |
