一种基于亚波长光栅的超灵敏折射率光生物传感器
基本信息
| 申请号 | CN202110509050.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113418893A | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN113418893A | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | G01N21/41（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李旭峰;赵亚丽;刘成林;杜建功;杨扉;王欣 | 申请（专利权）人 | 山西恒光微电子集成科技有限公司 |
| 代理机构 | 太原晋科知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 赵江艳 |
| 地址 | 030051山西省太原市中北高新技术产业开发区瑞盛生物科技产业园丰源西路25号（综合创新楼） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于生物传感器领域，具体涉及一种基于亚波长光栅的超灵敏折射率光生物传感器，包括石英衬底和依次设置在石英衬底上的金薄膜、含氟聚合物Cytop薄膜层和光栅波导层，光栅波导层为氮化硅材料制成的表面浮雕光栅结构，光栅波导层上方由待测液体样品覆盖。本发明通过在光栅和金属薄膜之间插入了含氟聚合物Cytop薄膜，实现了导模共振极窄的半高宽，而且，计算表明，改变该薄膜的厚度，对入射共振角的影响不大，但半高宽可以得到极大地提高，约为0.0005°，此时的折射率变化为~4x10，因此，本发明可以极大地提高传感器的灵敏度。 |
