一种旁路晶闸管及其制造方法

基本信息

申请号 CN202210146872.3 申请日 -
公开(公告)号 CN114400254A 公开(公告)日 2022-04-26
申请公布号 CN114400254A 申请公布日 2022-04-26
分类号 H01L29/74(2006.01)I;H01L21/332(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张磊;杨俊艳;李畅;赵田;张歧宁;王国卫;胡茜;党敏青 申请(专利权)人 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司
代理机构 西安文盛专利代理有限公司 代理人 彭冬英
地址 710077陕西省西安市高新区锦业二路13号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种旁路晶闸管及其制造方法,从上往下依次设置有阴极侧铝层,阴极N+区,阴极P‑区,N‑基区,阳极P‑区,阳极P+区和阳极铝层。在阴极侧中心设有沟槽,其表面设有门极P+区,正对门极P+区下方设有凸出的波状型P‑基区,在正对波状P‑区的阳极侧表面设置有高浓度N+区。当本发明结构的门极施加触发信号后,晶闸管可以实现正向导通;当阳‑阴极超过反向击穿电压后,晶闸管能够实现精准电压击穿,且击穿位于中心门极处,具有防爆功能。本发明结构主要应用于柔性直流输电系统中,保护换流阀功率子模块安全运行。