一种光致失粘胶带

基本信息

申请号 CN201921967824.0 申请日 -
公开(公告)号 CN212174860U 公开(公告)日 2020-12-18
申请公布号 CN212174860U 申请公布日 2020-12-18
分类号 C09J7/24;C09J7/38 分类 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用;
发明人 刘泓铭;陈维林 申请(专利权)人 北京清鸿光科科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100000 北京市海淀区海淀西大街36号二层北侧201室198号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种光致失粘胶带,包括基层,所述基层的一侧涂覆有胶层,所述胶层远离基层的一侧涂覆有离型膜层。本实用新型中使用光致失粘胶带进行半导体制备时,如晶圆切割时,其较高的粘结强度可以在加工过程有效保护工件,防止晶片飞散、崩裂,在脱胶阶段,仅依靠紫外光照即可在数秒至数十秒的时间范围使胶带失去粘性,无需进入高温工段进行脱胶,有效降低了生产过程的能耗,加快生产周期。