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一种半导体检验自动标记装置

基本信息

申请号 CN201510237037.0 申请日 -
公开（公告）号 CN104889964B 公开（公告）日 2018-09-28
申请公布号 CN104889964B 申请公布日 2018-09-28
分类号 B25H7/00 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 彭勇;王明辉;李宏图;赵从寿;陶佩;周根强;石永洪 申请（专利权）人 池州华钛半导体有限公司
代理机构 上海精晟知识产权代理有限公司 代理人 池州华宇电子科技有限公司
地址 247100 安徽省池州市经济技术开发区电子信息产业园10号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种半导体检验自动标记装置，包括显微镜、检验平台、底座、移动板、直线电机、丝杠、标记组件，直线电机通过丝杠带动移动板做直线运动，设定直线电机转动角度，使得每操作一下第一按钮或第二按钮，移动板带动显微镜移动的距离等于两个晶圆体之间间距，当操作人员发现有焊线不合格的晶圆体时，按下第三按钮，直线电机带动标记组件移动至焊线不合格的晶圆体正上方，气缸带动标记笔向下移动对晶圆体进行标记，当标记笔触发行程开关后，气缸带动标记笔向上运动，同时直线电机带动移动板返回至初始位置。该装置结构简单，自动对焊线不合格的晶圆体进行标记，操作人员不会发生漏标记或重复标记，大大降低操作人员劳动强度。