一种含有粘着添加剂及增塑剂的干膜光阻剂

基本信息

申请号 CN201110046747.7 申请日 -
公开(公告)号 CN102650825A 公开(公告)日 2012-08-29
申请公布号 CN102650825A 申请公布日 2012-08-29
分类号 G03F7/004(2006.01)I;G03F7/033(2006.01)I 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 邱红斌;陆德凯 申请(专利权)人 中山市立顺实业有限公司
代理机构 上海天翔知识产权代理有限公司 代理人 中山市立顺实业有限公司;珠海市能动科技光学产业有限公司
地址 528437 广东省中山市火炬开发区科技大道北侧
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种水溶液显影的干膜光阻剂,其组份中含有高分子粘合剂、游离基光引发剂、可加聚单体、增塑剂以及热聚合抑制剂,其特征在于组份中还含有一种可光聚的羟基改良的氯乙烯/乙烯醋酸酯高分子组分以及含有羧基的聚氨酯,从而使可光聚组分在拥有的各种组分中即保持一种精巧的平衡又能确保使粘着性控制恰到好处以及固化后的干膜的柔软性。