一种用于圆弧形晶片腐蚀和清洗的花篮
基本信息
| 申请号 | CN202122041258.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215834504U | 公开（公告）日 | 2022-02-15 |
| 申请公布号 | CN215834504U | 申请公布日 | 2022-02-15 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 庞昊;李勇胜 | 申请（专利权）人 | 合肥天曜新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴桑 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市经开区芙蓉路合肥海恒投资控股集团公司3#-B厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于圆弧形晶片腐蚀和清洗的花篮，包括框架，还包括弧形支架、主动辊和传动杆，所述框架由第一镂空板和第二镂空板组成，所述第一镂空板和第二镂空板平行设置，所述弧形支架安装在框架的左右两端，弧形支架内侧设置有限位槽，弧形支架为晶片提供支撑，所述主动辊安装在框架的底部，主动辊用于带动晶片进行转动，所述传动杆用于带动主动辊转动。本实用新型在花篮两侧设置的弧形支架内部采用圆弧形承接结构，使晶片在腐蚀和清洗过程中受力均匀，避免晶片碎裂，同时能够根据晶片的尺寸更改对应的弧形支架，使得花篮能够适应多种尺寸的腐蚀和清洗使用。 |
