一种刮晶圆边缘残金载台
基本信息
| 申请号 | CN202122188571.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215955249U | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN215955249U | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B08B1/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杜俊坤;彭炜棠 | 申请（专利权）人 | 合肥新汇成微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 合肥辉达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汪守勇 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种刮晶圆边缘残金载台，包括：载台主体；工字形支撑架，所述工字形支撑架固定安装于所述载台主体的底部的中心处；挡柱，所述挡柱固定于所述载台主体的边侧；所述真空控制阀安装于所述载台主体的底部；所述吸笔槽开设于所述载台主体顶部的一侧；环形凹槽，所述环形凹槽开设于所述载台主体的顶部。本实用新型提供的刮晶圆边缘残金载台，通过设置专用的载台，通过挡柱和真空控制阀配合可以使晶圆片稳定的吸附在载台上，晶圆片不易破碎，然后可以进行残金刮除操作，不需要占用其他设备的机台，不影响其他设备的工作产能，同时高度设置更加的适配工作人员，减轻工作人员的手臂负载，提高残金刮除效果。 |
