一种防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置
基本信息
| 申请号 | CN202121707202.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215953956U | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN215953956U | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | G02B21/26（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 杜俊坤;吕浩 | 申请（专利权）人 | 合肥新汇成微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 合肥辉达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汪守勇 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置。所述防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置，包括：主体架、连接螺栓、固定螺丝、第一螺母以及第二螺母；其中，所述连接螺栓设置于所述主体架上，所述固定螺丝设置于所述主体架的两侧。本实用新型提供一种防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置，通过主体架、连接螺栓、固定螺丝配合设置，主要用于对载物台的高度进行精准定位，实现了对载物台位置的准确控制，利用第一螺母与第二螺母与连接螺栓之间的位置距离，作为载物台的移动范围，针对经验不足的操作人员来说，提供了直观的参照，在调节载物台时不会因为位置把握不准确，而导致晶圆与镜头接触磨损，在使用显微镜聚焦时更加方便、更加轻松。 |
