一种含氟气体在线分析用预处理系统
基本信息
| 申请号 | CN202022348815.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214201324U | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN214201324U | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | G01N30/06 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 孙晓;高英武;王娟;李梅;魏磊 | 申请（专利权）人 | 昊华气体有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 471012 河南省洛阳市吉利区道南路12号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种含氟气体在线分析用预处理系统，其特征是包括碱洗罐(1)、水洗罐(4)、真空泵(7)、冷凝器(10)、干燥器(14)和气相色谱仪(16)，前述设备通过管线依次连接，真空泵(7)与冷凝器(10)之间管线通过四通与负压系统和尾气处理系统连接，冷凝器(10)与干燥器(14)之间管线通过四通与负压系统和尾气系统连接。该系统能实现气体置换迅速、分析准确、干燥完全，并易于维护，可有效降低操作人员工作量。 |
