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一种高效多晶硅铸锭炉的热场结构

基本信息

申请号 CN201520551711.8 申请日 -
公开（公告）号 CN204825129U 公开（公告）日 2015-12-02
申请公布号 CN204825129U 申请公布日 2015-12-02
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 朱松涛;郭宽新;冯立学;罗英明 申请（专利权）人 泗阳瑞泰光伏材料有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 泗阳瑞泰光伏材料有限公司
地址 223700 江苏省宿迁市泗阳县经济开发区东区淮海东路15号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种高效多晶硅铸锭炉的热场结构，高效多晶硅铸锭炉的热场结构包括坩埚、隔热笼组件以及加热器部件，隔热笼组件包括顶隔热板、侧隔热板及下隔热板，加热器部件包括顶部加热器、侧部加热器；坩埚的外侧部及底部包覆有石墨护板；石墨护板和侧部加热器之间设有石墨毡；石墨毡使侧部加热器对坩埚中硅料的直接热辐射降低，坩埚边缘和中心的温差降低，降低了横向温度梯度，使硅料按照从上向下的顺序熔化，籽晶碎硅料预留高度较均匀，有效的保证了高效铸锭的可操作性和成功率。本实用新型的高效多晶硅铸锭炉的热场结构，有效提高铸锭晶体的品质，减少多晶硅的内部缺陷，并且提高热能利用率，减少了能耗。