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一种多晶硅铸锭用熔化长晶工艺

基本信息

申请号	CN201710495608.X	申请日	-
公开（公告）号	CN109112620A	公开（公告）日	2019-01-01
申请公布号	CN109112620A	申请公布日	2019-01-01
分类号	C30B28/06;C30B29/06	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	宋江;郭宽新	申请（专利权）人	泗阳瑞泰光伏材料有限公司
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	奥特斯维能源（太仓）有限公司;泗阳瑞泰光伏材料有限公司
地址	215434 江苏省苏州市太仓市港口开发区平江路88号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种多晶硅铸锭用熔化长晶工艺，包括：1)熔化后期阶段：在熔化过程的最后1‑5h，将熔化温度控制在1480～1510℃，铸锭炉的隔热笼开度控制在3～6cm；2)熔化测量跳步操作：依照铸锭炉底部硅固体剩余高度和当前的熔化速度来共同确定跳步时机；3)长晶前期阶段：降温时间控制在20～40min，降温目标设定在1430～1440℃，隔热笼开度控制在5～7cm。铸锭炉包括炉体、设置在炉体内并能够升降的隔热笼、设置在隔热笼内的坩埚、设置于坩埚底部的矩形石墨块、设置于石墨块下方并能够封闭隔热笼底部的隔热垫，隔热垫的横截面为凸形。使用本发明，可以铸造小晶粒高效多晶，熔化周期比半熔熔化周期短2h以上，良率高3％以上，铸锭品质比全熔高效铸锭的含氧量更低，粘埚裂锭风险更小。