一种电子束加工设备扫描系统
基本信息
| 申请号 | CN202011410072.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112509898B | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN112509898B | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | H01J37/302;H03H11/28 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄小东;韦寿祺;费翔;张彤;董阳;王斌;王伟;郭文明;梁祖明;王奉宾;王建辉;李黎 | 申请（专利权）人 | 桂林狮达技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京慕达星云知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 符继超 |
| 地址 | 541004 广西壮族自治区桂林市国家高新区英才科技园创新一道3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种电子束加工设备扫描系统，包括：中央控制器、驱动电源、阻抗平衡网络和扫描装置；其中，中央控制器产生两相同步控制电压信号，分别输入驱动电源；驱动电源输出电流经阻抗平衡网络送至扫描装置的绕组。本发明在扫描装置的绕组回路中串入阻抗平衡网络电路，能够降低甲乙类功率放大电路的低频功耗，拓展磁扫描装置工作频宽。 |
