带电粒子束加工设备聚焦系统校准标定方法
基本信息
| 申请号 | CN202010054663.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111261314B | 公开（公告）日 | 2020-06-09 |
| 申请公布号 | CN111261314B | 申请公布日 | 2020-06-09 |
| 分类号 | G21K1/093(2006.01)I | 分类 | 核物理；核工程; |
| 发明人 | 黄小东;韦寿祺;费翔;张彤;董阳;黄国华;梁祖明;郭文明;唐强 | 申请（专利权）人 | 桂林狮达技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京慕达星云知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 符继超 |
| 地址 | 541004广西壮族自治区桂林市七星区英才科技园创业一道3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种带电粒子束加工设备聚焦系统校准标定方法，通过建立带电粒子束扫描点合位移与扫描装置的理想n相绕组扫描轴线上相位移的一一对应关系、校正相绕组扫描线偏差、试验建立相绕组相位移数据与相绕组励磁电流的数学关系，推导出扫描点坐标与n相绕组励磁电流指令的数学模型，由励磁电流指令数学模型控制特征扫描线的点扫描，获得点扫描对应的精确聚焦电流指令，建立特征扫描线上扫描点坐标与聚焦电流指令的数学模型，最后推导出扫描域内扫描点坐标与聚焦电流指令的数学模型，完成校准标定工作，扫描系统将按照校准标定数据精确控制带电粒子束扫描轨迹，而聚焦系统将按照校准标定数据同步精确控制每个扫描点的聚焦。 |
