一种真空镀膜高速恒卷绕张力设备和控制方法
基本信息
| 申请号 | CN201510729302.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105603380B | 公开（公告）日 | 2018-02-13 |
| 申请公布号 | CN105603380B | 申请公布日 | 2018-02-13 |
| 分类号 | C23C14/56 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 廖雪超;刘振兴;陈绪轩;张凯;胡威;李峰;沈丹丹 | 申请（专利权）人 | 海锐星（武汉）科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 杭州宇信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 武汉科技大学 |
| 地址 | 430081 湖北省武汉市青山区和平大道947号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种真空镀膜高速恒卷绕张力控制方法，涉及薄膜制造工艺技术领域，本发明通过在传统镀膜机上增加监测装置和控制装置，并通过系统运行各阶段的蒸镀鼓线速度控制方法、蒸镀鼓加速过程斜坡函数曲线设计方法、镀膜装置恒卷绕张力控制方法，实现薄膜基材从开卷、蒸镀、收卷完成的全自动过程控制，用于解决现有技术中薄膜基材的张力和速度控制由人工设定并凭经验在镀膜过程中实时调整，造成劳动强度大、镀膜效率和产品质量低的问题，实现了系统张力和速度实时控制，提高了生产效率和镀膜镀层质量，降低了劳动强度，提高了系统自动化水平。 |
