一种压电微泵支承结构及气体控制装置
基本信息
| 申请号 | CN202022082524.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213063904U | 公开（公告）日 | 2021-04-27 |
| 申请公布号 | CN213063904U | 申请公布日 | 2021-04-27 |
| 分类号 | F04B43/04;F04B53/00 | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 常州威图流体科技有限公司 |
| 代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 常莹莹 |
| 地址 | 213164 江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城惠研楼北楼2521室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于流体输送设备技术领域，具体涉及一种压电微泵支承结构及气体控制装置。一种压电微泵支承结构，包括压电微泵，包括共振板、压电振子和电极组件，共振板和压电振子依次层叠设置，压电振子的远离共振板的一侧连接有电极组件；底板，与压电微泵的远离共振板的一端连接且两者之间间隙形成进气腔，底板对压电微泵进行支撑和约束。一种气体控制装置，包括压电微泵支承结构；外壳罩设在压电微泵外部，并与电极组件密封连接以形成出气腔，外壳上形成有与出气腔连通的出气通孔。解决了现有技术中的压电微泵需通过周向延伸的连接部连接至外围的支承部上，支承部被层压固定，大大加大了压电泵的体积的技术问题。 |
