一种多向MEMS扫描装置
基本信息
| 申请号 | CN201910540290.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110275288A | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN110275288A | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | G02B26/08 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 兰树明 | 申请（专利权）人 | 无锡迅杰光远科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 聂启新 |
| 地址 | 214135 江苏省无锡市菱湖大道200号中国传感网国际创新园G1-1006 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多向MEMS扫描装置，涉及激光扫描技术领域，该多向MEMS扫描装置采用两个以上的二维扫描微镜级联，可以实现对待测样品的多方向同时扫描，可以大大提高扫描效率；且每个微镜可以独立控制使得扫描单元实现任意图形的扫描，在实际应用时可以针对不同的待测样品匹配不同的扫描图形，实现动态变化测量，扫描自由度和灵活度高。该多向MEMS扫描装置结构简单，采用MEMS工艺设计大大减小了装置的体积和成本。 |
