一种方硅芯铸锭炉腔体结构
基本信息
| 申请号 | CN202022355018.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214032750U | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN214032750U | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | C30B28/06（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 徐永亮;白斌;徐养毅;张国华 | 申请（专利权）人 | 苏州昀丰半导体装备有限公司 |
| 代理机构 | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐鸣 |
| 地址 | 215600江苏省苏州市张家港经济技术开发区（杨舍镇）晨丰公路1436号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种方硅芯铸锭炉腔体结构，主要以解决现有方硅芯铸锭炉在硅芯铸锭过程中内部抗压形变能力差的问题。包括：上炉体、下炉体、顶部内侧板、顶部外侧板、侧部内侧板与侧部外侧板，下炉体设置在上炉体的下部；顶部内侧板设置在上炉体内部上；顶部外侧板设置在上炉体外部上侧部内侧板设置在上炉体与下炉体的内部四侧；侧部外侧板设置在上炉体与下炉体的外部四侧；上炉体与下炉体的顶部与前后部依次设有第一横向加强筋、第二横向加强筋、第三横向加强筋与第四横向加强筋。本实用新型获得了抗压能力好、稳定性好的优点。 |
