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一种方硅芯铸锭炉装置及使用方法

基本信息

申请号 CN202011134428.7 申请日 -
公开（公告）号 CN112239887A 公开（公告）日 2021-01-19
申请公布号 CN112239887A 申请公布日 2021-01-19
分类号 C30B28/06;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 徐永亮;白斌;李振;徐养毅;周春霞 申请（专利权）人 苏州昀丰半导体装备有限公司
代理机构 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 代理人 徐鸣
地址 215600 江苏省苏州市张家港经济技术开发区（杨舍镇）晨丰公路1436号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种方硅芯铸锭炉装置，涉及硅片加工技术领域。在本申请中，硅芯生产装置，包括：机体设置在平面上，机体包括：前侧机架呈竖直设置在平面上；后侧机架位于前侧机架的一侧；左侧顶梁位于前侧机架的上方一侧；侧部下梁位于前侧机架的下方一侧；前侧机架、后侧机架、左侧顶梁、侧部下梁组合形成框架，框架设置有两组呈对称设置；横梁位于两组框架之间；腔体设置在机体的内部；升降装置设置在机体的一侧；导向装置设置在腔体的下方；坩埚设置在腔体的内部；工装夹具设置在外置装置上。本发明用于解决现有技术中硅芯铸锭完成后需要将下炉体进行横向移出然后在进行取料导致设备占地空间大、操作繁琐的问题。