一种方硅芯铸锭炉热场结构及制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011132224.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112176407A | 公开（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申请公布号 | CN112176407A | 申请公布日 | 2021-01-05 |
| 分类号 | C30B28/06;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 徐永亮;李振;徐养毅;张国华 | 申请（专利权）人 | 苏州昀丰半导体装备有限公司 |
| 代理机构 | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐鸣 |
| 地址 | 215600 江苏省苏州市张家港市杨舍镇华昌路沙洲湖科创园A1栋（昀丰） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种方硅芯铸锭炉热场结构及制备方法，主要以解决热场温度分布不均匀，生长出的晶体易开裂的问题。包括：炉体，所述炉体分为上炉体与下炉体；隔热层，所述隔热层设置在所述炉体中；立柱，所述立柱固定在所述下炉体上；热交换台，所述热交换台固定在所述立柱上；隔热板，所述隔热板设置在所述隔热层的底部，所述立柱穿过所述隔热板，所述隔热板能够在所述立柱上升降。本发明获得了热场稳定、利于晶体生长、能耗降低的优点。 |
