一种方硅芯铸锭炉的加热器结构
基本信息
| 申请号 | CN202022355021.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214032751U | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN214032751U | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | C30B28/06（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 徐永亮;李振;徐养毅 | 申请（专利权）人 | 苏州昀丰半导体装备有限公司 |
| 代理机构 | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐鸣 |
| 地址 | 215600江苏省苏州市张家港经济技术开发区（杨舍镇）晨丰公路1436号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种方硅芯铸锭炉的加热器结构，主要以解决电阻分配和功率分配对称性较差，使得现有方硅芯炉热场温度分布不均的问题。包括：侧加热器、顶加热器与石墨电极，所述侧加热器由侧加热板组成，所述侧加热板分为四个，分别设置为前后对称与左右对称；所述顶加热器设置在所述侧加热器的上方，所述顶加热器包括第一加热板、第二加热板与第三加热板，所述第二加热板连接所述第一加热板；所述第三加热板连接所述第二加热板，所述石墨电极连接在所述侧加热器与所述顶加热器上。本实用新型获得了加热器电阻和功率分配对称性好，利于形成均匀的温度分布，有助于提高硅晶体品质的优点。 |
